重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
(责任编辑：休闲)
阿维塔已完成C轮融资 总裁陈卓表示将全力争取2026年IPO
加速布局核心商圈！零跑开启全国招商：展厅面积最低150㎡
性能脱胎换骨！高通骁龙8至尊版详解
科龙空调品牌焕新战略发布，打造品牌差异化寻求破局之道
地球越来越热！世界气象组织：2024年有望成为有记录以来最热的一年-
测试1个月！微软Win11照片应用OCR功能关闭：要解决一些问题
快科技11月22日消息，经过一个月的测试，微软宣布暂时关闭Windows 11照片应用中的OCR功能，以解决在测试期间发现的一些问题。该功能自2024年10月下旬首次来，允许用户在图片上复制手写或打印
...[详细]
-
热泵与光伏、储能被视为新能源赛道的“三驾马车”,推动着能源转型的宏图大业不断纵深推进。在政策叠加需求双重驱动下,空气能热泵市场迎来了千亿风口,庞大市场空间逐渐释放,在政策、市场、资本的多方加持下,上千
...[详细]
-
网购9.9元商品后恶意“仅退款”！拼多多商家起诉买家赢了：获赔150元
快科技1月29日消息，拼多多经过近两年的发展，不仅摆脱了之前不靠谱的印象，甚至通过“仅退款”这个大杀招收获了无数好评。很多时候收到的商品损坏，直接点击退款就能实现仅退款无需退货，而且退款速度非常快，在
...[详细]
-
【快递柜拿取声吵到婴儿被封，居委会回应：婴儿满周岁会解封】近日，广东广州天河区龙岗路的街坊称，这里的蜂巢快递柜突然停止服务，给他们的生活造成了不便。记者看到，涉事快递柜区域被警戒线封起，并贴有警示标签
...[详细]
-
问界M9累计大定突破16万辆的消息言犹在耳，官方又对外宣布这个数据已迈过17万辆的门槛。此时距离其发布上市只有10个多月的时间，而万辆大定周期也在不断缩短，目前已经突破了16天大定增加一万辆。问界M9
...[详细]
-
口袋旗舰！vivo X200 Pro mini全新外观体验不止于小屏手感
vivo新一代旗舰手机，vivo X200系列已正式发布。有意思的是，与之前系列新机布局有所不同，这次vivo推出了一款全新的小尺寸旗舰机型，它就是vivo X200 Pro mini。vivo X2
...[详细]
-
OPPO开发者大会ODC 24媒体专访 揭秘AI与OS之间的关系
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！【机锋资讯】10月17日，OPPO开发者大会在杭州举
...[详细]
-
9月13日，在中国国际服务贸易交易会期间，2024物流高质量发展国际学术交流会在北京举行。会议发布《京津冀物流协同发展报告》2014-2023）以下简称《报告》），全面分析京津冀物流业协同发展整体面貌
...[详细]
-
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！近日，一加手机官方正式公布了其备受期待的一加 Ace
...[详细]
-
2024上半年全球云上数据泄露风险分析报告发布：12亿条隐私数据泄露
...[详细]
